工業光刻機冷卻系統冷水機開機停機事項

　　一、光刻機冷卻系統冷水機的使用注意事項：

　　1）光刻機冷卻系統冷水機組的正常開、停機須嚴格按照光刻機冷卻系統冷水機廠家提供的操作說明書的步聚進行操作。

　　2）機組在運行過程中，應及時、正確地做好參數的記錄工作，如出現報警停機，應及時通知相關人員對機組進行檢查，如無法排除故障，可以直接與光刻機冷卻系統冷水機廠家聯系。

　　3）機組在運行過程中嚴禁將水流開關短接，以免凍壞水管。機房應有專門的工作人員負責，嚴禁閑雜人員進入機房，操作機組。

　　4）機房應配備相應的靠譜防護設備和維修檢測工具，如壓力表、溫度計等，工具應存放在固定位置。

　　二、光刻機冷卻系統冷水機組停機注意事項

　　1）機組在停機后應切斷主電源開關。在停機時期間，應該將機組全部遮蓋，防止積灰，與機組無關的人員不得接觸機器。

　　2）如機組處于長期停機狀態期間，應將冷水、冷卻水系統的內部積水全部放凈，防止產生銹蝕。水室端蓋應密封住。

　　3）機組長期停機時，應做好維修保養工作。