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    Chiller在半導體設備中的應用價值

    簡要描述:【無錫冠亞】是一家專注提供高低溫控溫解決方案的設備廠家,公司主要生產高低溫沖擊氣流儀(熱流儀)、chiller、超低溫制冷機、高低溫測試機機、高低溫沖擊箱等各種為通訊、光模塊、集成電路芯片、航空航天、天文探測、電池包氫能源等領域的可靠性測試提供整套溫度環境解決方案。Chiller在半導體設備中的應用價值

    • 產品型號:FLTZ-806
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2025-03-12
    • 訪  問  量:499
    詳情介紹
    品牌冠亞恒溫冷卻方式水冷式
    價格區間10萬-50萬產地類別國產
    儀器種類一體式應用領域化工,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣

    Chiller在半導體設備中的應用價值

    Chiller在半導體設備中的應用價值


    Chiller系統應盡量靠近工藝設備,縮短管路長度,減少熱損失。同時要預留足夠的維護空間,確保日常維護和檢修的便利性。

    管路設計需要考慮熱膨脹和振動隔離。建議采用不銹鋼管路,減少腐蝕風險。在關鍵位置安裝膨脹節和減震器,防止熱應力和振動對系統的影響。

    電氣安裝要符合相關規范,確保接地可靠。建議為Chiller系統配置配電柜,并安裝過載保護和漏電保護裝置。控制線路要采用隔離電纜,防止電磁干擾。

    系統調試是安裝的重要環節之一。首先要進行水系統沖洗,確保管路清潔。然后進行系統試運行,檢查各部件運行狀態,調整控制參數,確保系統達到設計要求。

    三、維護保養策略

    日常維護是確保系統穩定運行的基礎。需要每日記錄運行參數,包括進出水溫度、壓力、流量等。檢查壓縮機、水泵等關鍵設備的運行狀態,及時發現異常情況。

    定期維護應檢查水處理系統,包括水質檢測、過濾器清洗、冷媒壓力,評估系統性能等。檢查電氣連接緊固度,清理冷凝器翅片,確保換熱效率。校準溫度傳感器,確保測量精度。清洗蒸發器和冷凝器,檢查管路腐蝕情況。測試保護裝置,確保其可靠。

    薄膜沉積工藝Chiller系統的選型、安裝與維護需要知識和技能。通過科學的選型、規范的安裝和系統的維護,可以確保Chiller系統的穩定運行,為薄膜沉積工藝提供可靠的溫度控制。



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