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    集成電路晶圓制造Chiller用于蝕刻裝置

    簡(jiǎn)要描述:【無(wú)錫冠亞】半導(dǎo)體控溫解決方案主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體專(zhuān)?溫控設(shè)備、射流式?低溫沖擊測(cè)試機(jī)和半導(dǎo)體??藝廢?處理裝置等?設(shè)備,?泛應(yīng)?于半導(dǎo)體、LED、LCD、太陽(yáng)能光伏等領(lǐng)域。集成電路晶圓制造Chiller用于蝕刻裝置

    • 產(chǎn)品型號(hào):LTS-202
    • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    • 更新時(shí)間:2025-01-16
    • 訪  問(wèn)  量:1166
    詳情介紹
    品牌冠亞制冷冷卻方式水冷式
    價(jià)格區(qū)間10萬(wàn)-50萬(wàn)產(chǎn)地類(lèi)別國(guó)產(chǎn)
    儀器種類(lèi)一體式應(yīng)用領(lǐng)域化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥,汽車(chē)及零部件



    無(wú)錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司的半導(dǎo)體控溫解決方案

    主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體專(zhuān)?溫控設(shè)備、射流式?低溫沖擊測(cè)試機(jī)和半導(dǎo)體??藝廢?處理裝置等?設(shè)備,

    ?泛應(yīng)?于半導(dǎo)體、LED、LCD、太陽(yáng)能光伏等領(lǐng)域。




    【 冠亞制冷 】半導(dǎo)體行業(yè)主營(yíng)控溫產(chǎn)品:

    半導(dǎo)體專(zhuān)溫控設(shè)備

    射流式?低溫沖擊測(cè)試機(jī)

    半導(dǎo)體專(zhuān)用溫控設(shè)備chiller

    Chiller氣體降溫控溫系統(tǒng)

    Chiller直冷型

    循環(huán)風(fēng)控溫裝置

    半導(dǎo)體?低溫測(cè)試設(shè)備

    電?設(shè)備?溫低溫恒溫測(cè)試?yán)錈嵩?/span>

    射流式高低溫沖擊測(cè)試機(jī)

    快速溫變控溫卡盤(pán)

    數(shù)據(jù)中心液冷解決方案


    型號(hào)FLT-002FLT-003FLT-004FLT-006FLT-008FLT-010FLT-015
    FLT-002WFLT-003WFLT-004WFLT-006WFLT-008WFLT-010WFLT-015W
    溫度范圍5℃~40℃
    控溫精度±0.1℃
    流量控制  10~25L/min  5bar max15~45L/min  6bar max25~75L/min  6bar max
    制冷量at10℃6kw8kw10kw15 kw20kw25kw40kw
    內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
    膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
    制冷劑R410A
    載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  (DI溫度需要控制10℃以上)
    進(jìn)出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
    冷卻水口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
    冷卻水流量at20℃1.5m3/h2m3/h2.5m3/h4m3/h4.5m3/h5.6m3/h9m3/h
    電源380V3.5kW4kW5.5kW7kW9.5kW12kW16kW
    溫度擴(kuò)展通過(guò)增加電加熱器,擴(kuò)展-25℃~80℃





    集成電路晶圓制造Chiller用于蝕刻裝置

    集成電路晶圓制造Chiller用于蝕刻裝置


      淺溝道隔離槽刻蝕單通道chiller是一種用于冷卻半導(dǎo)體的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造工序各種應(yīng)用場(chǎng)景。以下是淺溝道隔離槽刻蝕單通道chiller的一些常見(jiàn)應(yīng)用場(chǎng)景:

      1、半導(dǎo)體制造

      在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,需要使用大量的半導(dǎo)體設(shè)備,如晶圓制造設(shè)備、封裝測(cè)試設(shè)備等。這些設(shè)備在工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量的熱量,如果熱量控制不當(dāng),就會(huì)影響設(shè)備的性能和穩(wěn)定性。淺溝道隔離槽刻蝕單通道chiller可以用于冷卻這些設(shè)備,保證設(shè)備的正常運(yùn)行和生產(chǎn)效率。

      2、元器件電子設(shè)備

      電力電子設(shè)備如整流器、逆變器、電源等在工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量的熱量,如果熱量控制不當(dāng),就會(huì)導(dǎo)致設(shè)備故障或性能下降。淺溝道隔離槽刻蝕單通道chiller可以用于冷卻這些設(shè)備,保證設(shè)備的正常運(yùn)行和穩(wěn)定性。

      3、通信設(shè)備

      通信設(shè)備如基站、交換機(jī)、路由器等在工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量的熱量,如果熱量控制不當(dāng),就會(huì)影響設(shè)備的通信質(zhì)量和穩(wěn)定性。淺溝道隔離槽刻蝕單通道chiller可以用于冷卻這些設(shè)備,保證設(shè)備的正常運(yùn)行和穩(wěn)定性。

    總之,淺溝道隔離槽刻蝕單通道chiller在各種應(yīng)用場(chǎng)景中都發(fā)揮著一定作用,可以保證設(shè)備的正常運(yùn)行和穩(wěn)定性,提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量。




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